동작 원리

MiCS-4514 센서는 NO₂와 CO 검출량에 따라 저항값이 바뀌는 방식이다. 금속산화물, 일반적으로 SnO₂로 구성된 감지층은 히터 구조에 의해 가열된다. 화학 물질이 표면에 흡수되면 전기 전도성이 국소적으로 변하고, 이로 인해 전기 저항이 변경된다. 따라서 환원 작용에 의해 발생하는 CO, 탄화수소(HC) 및 산화작용에 의해 발생하는 NO₂ 가스를 검출할 수 있다.

■ NO₂가 있으면 NOX 센서 저항이 증가한다.

■ CO 및 HC가 있으면 RED 센서 저항이 감소한다.

MiCS-4514에는 독립적인 히터와 민감한 가스 측정 레이어가 있는 두 개의 센서 칩이 포함되어 있다. 센서 칩 하나는 산화 가스(NOX-이산화질소)를 감지하고 다른 센서 칩은 환원 가스(RED-일산화탄소)를 감지한다. 내부 연결은 다음과 같다.

그림 4-21 MiCS-4514 센서 동작 원리 및 구성^[31]