동작 원리

그루브 멀티채널 가스 센서는 세 개의 가스를 동시에 측정하는데, 가스 농도에 따라 저항값이 변화하는 원리다.

■ 첫 번째 센서: 암모니아 가스를 감지하고, 농도에 따라 센서의 저항은 감소한다.

■ 두 번째 센서: 산화 가스(OX)를 감지하고, 오존(O₃)이나 이산화질소(NO₂)의 농도에 따라 센서의 저항은 증가한다.

■ 세 번째 센서: 환원 가스(RED)를 감지하고, 일산화탄소(CO) 또는 휘발성 유기 화합물(VOCs) 같은 가스 농도에 따라 저항은 감소한다.

민감한 가스 측정 레이어가 있는 센서 칩 내부 연결 모습은 다음과 같다.

그림 4-31 MiCS-6814 센서 동작 원리 및 구성^[43]